ФЕДЕРАЛЬНОЕ
ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ
НАУКИ
ИНСТИТУТ
ПРОБЛЕМ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
И ОСОБОЧИСТЫХ
МАТЕРИАЛОВ РАН (ИПТМ РАН) г. Черноголовка.
Федеральное государственное бюджетное учреждение
науки
Институт
Проблем Технологии Микроэлектроники и Особочистых Материалов Росийской Академии Наук (ИПТМ РАН)
Last updated:
13.02.19