Программа

научная программа

Конференция с международным участием "Электронно-лучевые технологии" – КЭЛТ- 2019 будет посвящена анализу состояния исследований и разработок в области электронно- и ионно-лучевых технологий и их применений в литографии, наноструктурировании поверхности и получении материалов для микро- и наноэлектроники. Также будут рассмотрены вопросы применения методов электронной, рентгеновской и зондовой микроскопии для анализа материалов и структур электронной техники. Предполагается заслушать сообщения как о новых исследованиях и разработках, выполняемых в лабораториях институтов РАН и высших учебных заведений, так и обсудить задачи диагностики материалов и структур, стоящие перед учёными и инженерами, работающими в электронной промышленности.

Программа (doc) (pdf )

Изменения в программе на 30.09.2019 (pdf)

Сборник тезисов докладов (pdf).

Научная программа Конференции предусматривает следующие секции:

Секция 1. Характеризация полупроводниковых материалов и структур.

Секция 2. Характеризация материалов и структур методами ПЭМ.

Секция 3. Характеризация материалов и структур методами РЭМ.

Секция 4. Сканирующая зондовая микроскопия, зондовая нанолитография и спектроскопия.

Секции 5. Электронная и ионная литография.

Секции 6. Электронно - лучевые технологии: создание микро- и наноструктур, 3D печать,
электронно-лучевая сварка, электронно-лучевая плавка.

Секция 7. Новые материалы для микроэлектроники.

Секция 8. Характеризация материалов и структур методами рентгеновской микроскопии.

Секретариат:
Казьмирук Лидия Александровна
Tel: ( 8 496 52) 4 42 19
Fax: (+7 496 52) 4 41 68
E-mail: giza@iptm.ru

Осипова Галина Юрьевна
Tel: ( 8 496 52) 4 42 53

Fax: (+7 496 52) 4 41 68
E-mail: alina@iptm.ru

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт Проблем Технологии Микроэлектроники и Особочистых Материалов Росийской Академии Наук
(ИПТМ РАН)
Last updated: 30.09.19